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【光罩事業部】
EVERVISION 光罩事業部自1997年開始生產Photo Mask, 目前 EVERVISION Mask 客戶遍佈全省，生產總部位於台中加工出口區，為一專業生產光罩的事業部。
Mask團隊具備有經驗充足的圖面設計工程師、生產製造工程員及秉持全心服務的業務人員，在品質、服務及交期上都具備市場潛力及客戶認同。除了光罩材質、品質的研發及檢討外，更積極進入更高階的光罩市場領域，EVERVISION延自日本時期技術合作經驗，有先進的設備及品質穩定的基板原料，並且建立在能即時交貨及客製化產品需求的優勢上。
【技術 & 研發】
Mask 將針對不同的需求產業強化 Design House，並持續加強軟、硬體方面設施及人員素質。 ◎ 近日，億力光電光罩事業部與日本 Dynatron 株式會社合作進行軟體升級，定位為 4" ~ 700 x 800 mm 之專業優良光罩供應商，透過客製化的光罩服務與即時的市場反應，必能在市場上建立好口碑。另一製程 Stepper 光罩，億力光電光罩事業部也已經開擴市場成功，並正式生產交貨。
【產品種類】
-
基板材質 & 特性
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圖示 位置 |
材 料 |
Sodalime glass |
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A、B |
最大尺寸 |
550 × 450 |
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C |
厚度 |
≦ 6.5 ± 0.2 |
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－ |
鉻膜 |
Low reflective chrome 950 ± 70A |
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－ |
8 稜磨邊規格 |
0.3mm < C < 0.9mm |
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－ |
4 角削角規格 |
2.5mm < C < 3.5mm |
|
－ |
光學濃度 |
3.0 ± 0.3 |
|
－ |
反射率 |
10.0 ± 3.0 |
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製造能力&規格
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規格項目 |
圖示位置 |
規 格 |
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材料 |
－ |
Soda Lime |
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玻璃尺寸 |
X |
Biggest 450mm ± 1mm |
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玻璃尺寸 |
Y |
Biggest 550mm ± 1mm |
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鉻膜 |
－ |
Low Reflective Chrome 950 ± 70 Å |
|
八稜磨邊規格 |
－ |
0.3mm ＜C＜ 0.9mm |
|
四角削角規格 |
－ |
2.5mm ＜C＜ 3.5mm |
|
光學濃度 |
－ |
3.0±0.3 |
|
反射率 |
－ |
10.0±3.0 |
|
厚度 |
A |
1.5 ~ 4.8 mm ± 0.2 mm |
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線寬 |
B |
Smallest 5um |
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線距 |
C |
Smallest 5um |
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余白 (直描有效區) |
D、E |
＞5mm |
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交期 (Normal) |
－ |
2 ~ 4 days |
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交期 (Hot Run) |
－ |
24H |
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檔案類型 |
－ |
dwg、 dxf、 pcb、 gbr |
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圖形最外圍總長精度 |
X-L、Y-L |
± 3 um |
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圖形最外圍至 Pattern 最外圍精度 |
XLP-D、XRP-D YUP-D、YDP-D |
± 3 um |
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Pattern 總長精度 |
X-TP、Y-TP |
± 5 um |
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Pattern 配置精度 |
X-P、Y-P、 S-W、C-W |
± 2 um |
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Dot Gap 5 個所 |
C [(1)、(2)、(3)、(4)、(5)] |
± 1 um |
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一般光罩
-
Stepper 光罩
