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【光罩事業部】
【技術 & 研發】
【產品種類】
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基板材質 & 特性
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圖示 位置 |
材 料 |
Sodalime glass |
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A、B |
最大尺寸 |
700 × 800 |
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C |
厚度 |
≦ 7.8 ± 0.2 |
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－ |
鉻膜 |
Low reflective chrome 1000 ± 80A |
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－ |
8 稜磨邊規格 |
0.3mm < C < 0.9mm |
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－ |
4 角削角規格 |
2.5mm < C < 3.5mm |
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－ |
光學濃度 |
3.0 ± 0.3 |
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－ |
反射率 |
10.0 ± 3.0 |
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製造能力&規格
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規格項目 |
圖示位置 |
規 格 |
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材料 |
－ |
Soda Lime |
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玻璃尺寸 |
X |
Biggest 700mm ± 1mm |
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玻璃尺寸 |
Y |
Biggest 800mm ± 1mm |
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鉻膜 |
－ |
Low Reflective Chrome 1000 ± 80 Å |
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八稜磨邊規格 |
－ |
0.3mm ＜C＜ 0.9mm |
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四角削角規格 |
－ |
2.5mm ＜C＜ 3.5mm |
|
光學濃度 |
－ |
3.0±0.3 |
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反射率 |
－ |
10.0±3.0 |
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厚度 |
A |
1.5 ~ 4.8 mm ± 0.2 mm |
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線寬 |
B |
Smallest 1.2um |
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線距 |
C |
Smallest 1.2um |
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直描有效區 |
D、E |
玻璃邊緣往內＞10mm |
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交期 (Normal) |
－ |
2 ~ 4 days |
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交期 (Hot Run) |
－ |
24H |
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檔案類型 |
－ |
dwg、 dxf、 pcb、 gbr |
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圖形最外圍總長精度(以最大尺吋=700x800) |
X-L、Y-L |
± 2 um內 (尺吋=700x800) |
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圖形最外圍至 Pattern 最外圍精度 (以最大尺吋=700x800) |
XLP-D、XRP-D YUP-D、YDP-D |
± 2 um內 (尺吋=700x800) |
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Pattern 總長精度(以最大尺吋=700x800) |
X-TP、Y-TP |
± 2 um (尺吋=700x800) |
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Pattern 配置精度(各尺吋) |
X-P、Y-P、 S-W、C-W |
± 1.2 um |
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Dot Gap 5 個所 |
C [(1)、(2)、(3)、(4)、(5)] |
± 0.5 um |
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一般光罩
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Stepper 光罩
